密析尔Pura高纯气露点变送器
在很多超纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来,对湿气的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的*经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。
密析尔Pura高纯气露点变送器
传感器 | |
传感器类型 | 密析尔陶瓷湿度传感器 |
量程 | -120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C) |
精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) |
分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C |
压力 | 低 10-9 torr; *大 24 MPa |
气体流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
电气 | |
电源 | 通常 24 V DC, 低10 V ~ *高28 V , *大电流 25 mA |
输出 | 4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供) *大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8) |
输出出错状态 | 标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
机械性能 | |
传感器套筒 | 不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛 |
气路连接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 |
安装配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙 底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中 |
尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm |
重量 | Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g |
包装 | Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装 所有选配件: 独立包装运输 Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作 |
在气体和液体中,测量露点、水分含量和微水含量一系列密析尔探头。范围从极干的环境下 (-120°Cdp) 到高湿度环境下测量,露点*高达到+60°C,我们的探头可在多种领域中应用,进行可靠的测量。我们的本安型和隔爆/防火型传感器适用于全球多种危险场合。
品牌: | 英国 |
型号: | PURA |
加工定制: | 是 |
类型: | 在线 |
测量范围: | 范围广泛 |
测量精度: | 各种规格 |
测量对象: | 气体 |
温度范围: | 各种规格 ℃ |