物料净化用室与洁净室设备要求
洁净室内额设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料额特征、性质、形状等设置净化用室及相应物净设施。物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
洁净室内应采用具有防尘、防污染的生产设备和辅助生产设备，并应符合下列要求：表面应光洁、易清洁、不积尘、不挥发化学物质；设备的传动部件等应密封性能好，并应防止润滑油、冷却剂等的泄漏；对生产中发尘、排热量大或排出有毒、可燃气体的设备，应采取防扩散措施；设备的金属外壳应设置接地设施。
物料净化用室与洁净室设备要求，当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室时，宜采取密封隔断措施。洁净室内的设备宜选用低噪声产品。当所使用的工器具进行净化处理的设施。洁净室内电子产品生产过程中各种零、部件存放和传送，宜采用专用容器。洁净室内设置真空泵时，应符合使用润滑的真空泵应设备除油装置，除油后尾气应排入排气系统；对传输含有可燃气体的真空泵，可然气体浓度超过bao炸下限的20%时，应设尾气处理装置。在排气系统前应去除或稀释可燃气体组分；传输易燃、自然化学品或高浓度引起的真空泵，应采用不然泵油，并应配置氮气吹扫。
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