电子洁净厂房防静电环境设计
洁净厂房应根据生产工艺要求设置防静电环境,防静电环境设计应满足抑制或减少静电的产生,以及将已产生的静电迅速、安全、有效地排除的要求。防静电环境设计应按电子产品或生产工序进行分级。防静电环境内静电电位绝对值应小于电子产品的静电电位安全值。
防静电换机设计分级适用场所:一级:静电电位绝对值(v)小于等于100,适用场所,半导体器件、集成电路、平板显示器制造和测试的场所;电子产品生产过程中操作1级静电敏感器件制造和测试的场所。二级:小于等于200,静电敏感精密电子仪器的测试和维修场所;静电敏感电子器件制造和测试维修场所;静电蒙安电子器件制造和测试的场所。三级:小于等于1000除以及、二级场所以外的电子器件和整机的组装、调试场所。
电子洁净厂房防静电环境设计,洁净厂房防静电环境的门窗设计,应符合下列要求:应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面;金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层,并应接地;室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层。
洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装金属网,并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地。洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器、防静电安全工作台。