洁净厂房室内装修包括三方面的内容
洁净厂房的建筑围护结构和室内装修用材料,不可避免地会在温度和湿度变化时引起变形,为确保洁净室内的洁净环境,减少微尘产生、积聚,应选用气密性良好,且在温度、湿度变化时变形小的材料。
洁净室内某些电子产品会因化学污染物在产品表面沉积影响产品质量或在后续生产过程中发生化学反应,造成次品以至废品,所以在洁净室内,为防止化学污染,本条规定:洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。在进行洁净室设计或建造选用装饰材料时,应与具体项目的业主方或提供产生工艺方进行协调后确定。洁净室内所选用的装修材料的燃烧性能应符合现行标准《建筑内部装修设计防火规范》的规定。
洁净室地面应满足电子产品生产工艺和设备安装要求。如芯片生产用洁净厂房,采用垂直单向流洁净室时,一般采用回风活动地板;在洁净室不同部位因生产工艺和设备安装的要求,尚需选用不同承载能力、规格型号各不相同的活动地板。为防止洁净室内地面施工后,在使用过程发生裂缝、裂纹等,容易产生和微粒积聚,为此,洁净室地面垫层推荐采用配筋方式。
洁净厂房室内装修包括三方面的内容,洁净室的关键密封部位室高效过滤器本身或高效过滤器与其安装骨架之间的缝隙,一定要具有良好密封性能,目前使用的密封方法很多,如液槽密封、机械压垫密封等,但必须做到涂抹或填嵌方便、操作简单,而且还要考虑更换高效过滤器时方便拆装。