洁净室空气温湿度分类
乱流式：即空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型而呈不规则乱流或涡流状态。此型式适用于等级1级，其优点：构造简单，系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些**用途场所，可并用无尘工作台，提*洁净室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间漂浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转在激活，欲达需求之洁净度，往往需耗时相当长一段时间。
洁净室空气温湿度分类，层流式：空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此形式适用于洁净室等级需定较*之环境使用，一般其洁净室等级为CLASS1-100。（1）水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较*重，优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。（2）垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较*之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较*，弹性运用空间困难，天花板之保架相当占空间，维修更换过滤器较麻*。
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