洁净室空气洁净等级
净化在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所*别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
为了统*洁净室的空气洁净度等级、各类技术要求,世*各国都陆续制定了各自的洁净室*准。洁净室标准是源于各类产品生产工艺技术、产品性能的不断研究开发、升级和各种使用要求,对空气洁净度及污染物的控制要求不断变化、提高,尤其是半导体集成电路的高速发民是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志;洁净室标准也源于洁净技术的研*开发和发展。因此洁净室标准的实施,对洁净室的设计建造和运行具有*要性、实用性,它的统*技术要求,严格的技术条件规定,统*的检测方法以及明确、严格的*全技术规范,都已成为建设洁净室工程的主要*据。