设备采用立式底部坩埚升降结构,一体化设计,结构紧凑,装卸料方便,真空炉体采用304不锈钢水冷腔室。
二、主要技术参数
1、加热温度:≤2000℃;
2、常用温度:1800-2000℃;
3、功率:15Kw±10%;
4、冷态极限真空度:≤5.0*10-4Pa;
5、坩埚尺寸:Ф50×100mm(直径×高);
6、测温系统:红外仪控温测温;
7、加热方式:高频感应加热;
8、坩埚材质:石墨坩埚;
9、坩埚护套:石英陶瓷保温套;
10、坩埚升降速度:位移行程 200mm(步进电机控制);
11、测温系统:红外IS-LAS2200(800~2200℃);
12、控温方式:程序仪表+红外闭环控制
13、线圈升降速度:慢速60mm/h;快速0-200mm/min;
14、炉内充气压力:≤0.03MPa;
15、充气系统:自动充放气。