高效的电子透镜、半球形分析器和检测器使其具有超强的检测能力和快速的数据采集能力。
样品视图

使用Nexsa XPS 专利的光学观察系统和 SnapMap 功能聚焦样品特征区域，有助于快速定位感兴趣的区域。
绝缘样品分析

专利的双束中和源：既能出射低能离子，又能出射低能电子(小于1 eV)。在测试中能够对样品，特别是绝缘样品，进行很好的中和，令数据分析简单而可靠。 
深度剖析

利用标准离子源或 MAGCIS（可选的双模式单原子和气体团簇离子源）获取表面之下的信息；离子源的自动校准和气体团簇的处理确保了卓越的性能和实验的可重复性。
可选样品台

提供可选的各种特殊样品台，用于变角 XPS、样品加偏压测试或从手套箱惰性转移样品。
数码控制

仪器控制、数据处理和报告均由基于 Windows 的 Avantage 数据系统控制。
NX 样品加热器模块

全软件控制的样品加热功能选项，支持温度相关研究

规格
分析器类型   180° 双聚焦半球形分析器，128 通道探测器
X 射线源类型   单色化、微聚焦、低功率的 Al K-Alpha X 射线源
X 射线光斑尺寸   10-400 µm（以 5µm 为单位可调）
深度剖析              EX06 单原子离子源或 MAGCIS 双模式离子源
样品*大面积       60 x 60 mm
样品*大厚度       20 mm 
真空系统              两个涡轮分子泵，配有自动钛升华泵和前级泵 
可选配件              UPS、ISS、REELS、iXR 拉曼光谱仪、MAGCIS、样品倾斜模块、NX 样品加热模块、样品加偏压模块、真空转移模块、手套箱集成适配器