现代臭氧发生器的效率与传统产品相比已经明显提高，但运行中仍然有部分电能在放电间隙中并不是用来生成臭氧而是转变成热量，如果这部分热量得不到有效的散失，臭氧发生器放电间隙的温度就会持续升高超过设计的运行温度。高温不利于臭氧的产生但利于臭氧的分解，导致臭氧产量和浓度下降。臭氧发生器中的冷却水通过板式换热器与工厂提供的外循环冷却水进行热交换。采用内循环的方式可以保证进入臭氧发生器的冷却水质量，不易在放电管外壁上结垢，提高换热效率，防止冷却水腐蚀管壁造成管泄漏的故障。当冷却水温度超过系统设计温度或水量不足时，系统会自动发出报警信号。保证及时带走臭氧发生器产生的余热，维持臭氧发生器的产量和浓度。