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关于HMDS电脑式涂胶烤箱的用途
发布时间:2021-10-22 10:26:28
关于HMDS电脑式涂胶烤箱的用途
用于半导体生产工艺中的光刻黄光区,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达4盒的晶片,效率高。可放2 寸晶圆片,4 寸晶圆片,6 寸晶圆片,8 寸晶圆片,12 寸晶圆片。