真空退火炉，真空回火炉，真空淬火炉，他们都叫真空热处理炉。真空退火的工艺跟真空回火的工艺是可以在同一台真空炉上做到的。真空退火炉和真空回火炉通常称作真空箱式炉或真空箱式气氛炉。
真空淬火工艺必须要到专用的真空淬火炉上去做。标准的真空箱式炉具有密封性能好，可以做到真空或充入惰性气体，在炉内退火、回火的材料不会氧化。真空箱式炉也可以做普通的淬火，但与普通淬火炉一样会正常的氧化。如果要做到淬火不会氧化，那么一定要用到真空淬火炉。真空箱式炉和真空淬火炉由于他们的结构完全不一样，价格相差还是非常大的。 退火、回火的工艺是把金属材料升温到一定的温度，然后慢慢冷却，在真空炉内退火和回火可以确保材料不会氧化脱碳。淬火的工艺是把金属材料升温到一定的温度，再快速冷却，标准的真空炉是适合做真空退火和回火，真空淬火一定要用专用的真空淬火炉。