产品详情

PRODUCT DETAILS

产品描述：半导体材料气体检测

可检测微量的半导体材料气体泄漏，可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测，

也可对氢气相关设备提供安全保障。

01.产品特点

·  小型·轻量

·  可以检查非常微量的气体泄漏

·  适合氢气相关设备的安全防护

·  搭载的泵有自动停止功能

·  搭载[自动气体排气模式]功能

·  保护等级约为IP22（JIS C  0920）※安装皮套时

02.产品用途

·  半导体工厂/石油化学工厂等

·  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

03.产品参数
型号：XP-703DII
检测对象气体：半导体材料气体(砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气)
检测原理：热线型半导体式
采样方式：自动吸引式
                                         砷烷                  磷化氢             乙硼烷                 硅烷                  氢气
                                         AsH3                  PH3                 B2H                   SiH4                   H2
可检测泄漏量[Pa·m³/s]：2.53x10-7       1.52x10-7         1.01x10-7           2.53x10-7         5.07x10-7
可检测浓度[ppm]：0.5        0.3         0.2         0.5             1.0
反应时间：10秒以内(探测的气体为可检测浓度的3倍时，灵敏度设定为[4])
报警方式：发出断断续续的声音及报警deng闪烁
电源：5号碱性干电池(LR6)2节
连续使用时间※1：约12小时(5号碱性干电池)[在常温·常湿条件下]
保护等级※2：IP22 相当※3
使用压力范围：大气压(800~1100hpa)
使用温湿度范围：0℃~40℃、85%RH以下(无结露现象)
外形尺寸：W38XH130XD32mm(突出部份除外)
重量：约190g(包含电池、皮套)
标配附件：皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、5号碱性干电池2节等
※1.根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家，有时会有不同。
※2.安装皮套时。
※3.IP22相当是指机器内部危险场所附近所对应的保护构造(IP2X)、与垂直方向呈15°范围内掉落的水滴不会引起机器内部异常的防浸水构造(IPX2)。