应用领域:
碳纳米管研制CVD真空管式炉广泛应用于高、中、低温CVD工艺,例如碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等,也可以适用于金属材料的扩散焊接及真空或保护气氛下的热处理
主要特点:
1.碳纳米管研制CVD真空管式炉采用高纯石英管或者刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度
2.碳纳米管研制CVD真空管式炉的耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低
3.碳纳米管研制CVD真空管式炉的加热元件采用U型硅钼棒,或原装进口电阻丝
4.碳纳米管研制CVD真空管式炉的温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性
技术指标:
设备型号 |
CVD(D)-06/60/3 |
CVD(Z)-06/30/1 |
CVD(G)-07/50/2 |
CVD(G)-09/50/1 |
*高温度 |
1050℃ |
1350℃ |
1650℃/1000℃ |
1650℃ |
使用温度 |
RT-1000℃ |
850-1300℃ |
1000-1600℃ |
1000-1600℃ |
控温精度 |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
温区个数 |
3 |
1 |
2 |
1 |
加热区长度 |
600mm |
300mm |
500mm |
500mm |
炉管材料 |
石英管 |
刚玉管 |
刚玉管 |
刚玉管 |
炉管尺寸 |
60x1400mm |
60x1000mm |
70x1450mm |
90x1450mm |
发热元件 |
进口电阻丝 |
电阻丝/硅碳棒 |
硅钼棒、电阻丝 |
硅钼棒 |
*大装机功率 |
4.5KW |
3KW/8KW |
8KW |
10KW |
设备照片:
联系方式: