应用领域：
CVD化学气相沉积管式炉广泛应用于高、中、低温CVD工艺，例如碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等，也可以适用于金属材料的扩散焊接及真空或保护气氛下的热处理

主要特点：
1.CVD化学气相沉积管式炉采用高纯石英管或者刚玉管作为内炉膛，可拆卸式的三面密封方式，具有良好的洁净度和真空度
2.CVD化学气相沉积管式炉的耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低
3.CVD化学气相沉积管式炉的加热元件采用U型硅钼棒，或原装进口电阻丝
4.CVD化学气相沉积管式炉的温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性

技术指标：

设备型号	CVD(D)-06/60/3	CVD(Z)-06/30/1	CVD(G)-07/50/2	CVD(G)-09/50/1
*高温度	1050℃	1350℃	1650℃/1000℃	1650℃
使用温度	RT-1000℃	850-1300℃	1000-1600℃	1000-1600℃
控温精度	±1.5℃	±1.5℃	±1.5℃	±1.5℃
温区个数	3	1	2	1
加热区长度	600mm	300mm	500mm	500mm
炉管材料	石英管	刚玉管	刚玉管	刚玉管
炉管尺寸	60x1400mm	60x1000mm	70x1450mm	90x1450mm
发热元件	进口电阻丝	电阻丝/硅碳棒	硅钼棒、电阻丝	硅钼棒
*大装机功率	4.5KW	3KW/8KW	8KW	10KW

设备照片：

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