应用领域: RGL系列气氛管式炉(电炉、实验电炉、高温电炉)主要用于半导体材料的扩散、氧化工艺;也应用于玻璃对金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光体材料的煅烧等工艺。
主要特点: 采RGL系列气氛管式炉(电炉、实验电炉、高温电炉)用高纯石英管作为内炉膛,具有良好的洁净度;耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机能耗低,升温快;加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器;RGL系列气氛管式炉(电炉、实验电炉、高温电炉)温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
技术指标:
设备型号 |
RGL(D)-07/75/3
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RGL(S)-09/60/6
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RGL(D)-18/110/3
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RGL(D)-25/100/6
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限高温度 |
1050℃
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1050℃
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1050℃
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1050℃
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使用温度 |
RT—1000℃
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RT—1000℃
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RT—1000℃
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RT—1250℃
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控制精度 |
±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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温区个数 |
3个
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6个
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3个
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6个
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加热区长度 |
750mm
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600mm
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1100mm
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1000mm
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炉管尺寸 |
ф70(外径)×2200(mm) |
ф90(外径)×1800(mm) |
ф180(外径)×100(mm) |
ф250(外径)×2100(mm) |
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炉管材料 |
耐热钢管/石英管
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石英管
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石英管
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碳化硅管
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炉管数量 |
单管
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双管
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单管
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单管
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发热元件 |
进口电阻丝
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进口电阻丝
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进口电阻丝
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硅碳棒
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装机功率 |
8KW
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15kw
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20kw
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60kw
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RGL-□/□/□ 选件功能 |
/□
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/□
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/□
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V
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真空系列:单级机械泵+扩散泵机组 | ||
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Q
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气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计 | ||
R
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记录打印:有(无)纸记录仪 |
具体工艺参数请登陆合肥日新高温技术有限公司企业门户
欢迎来电垂询: 65583720
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加工定制: | 是 |
品牌: | 日新高温 |
型号: | RGL系列 |
功率: | 34 kw |
*大电压: | 380 V |
额定温度: | 1400 ℃ |
主要用途: | 工业 |
产品认证: | ISO |