应用领域:
低温 真空气氛管式炉(管式炉 实验电炉)广泛适用于低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。
主要特点:
低温真空气氛管式炉(管式炉 实验电炉)采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火,保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;低温真空气氛管式炉(管式炉 实验电炉)加热元件采用U型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝;本系列真空气氛管式炉(管式炉 实验电炉)温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
技术指标:
设备型号 |
CVD(D)-06/60/3
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CVD(Z)-06/30/1
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CVD(G)-07/50/2
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CVD(G)-09/50/1
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***高温度 |
1050℃
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1300℃
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1650℃/1000℃
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1650℃
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使用温度 |
RT—1000℃
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850-1300℃
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1000-1600℃
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1000-1600℃
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控制精度 |
±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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温区个数 |
3个
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1个
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2个
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1个
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加热区长度 |
600mm
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300mm
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500mm(300mm/200mm)
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500mm
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炉管尺寸 |
ф60(外径)×1400(mm)
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ф60(外径)×1000(mm)
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ф70(外径)×1450(mm)
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ф90(外径)×1450(mm)
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炉管材料 |
石英管
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刚玉管
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刚玉管
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刚玉管
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发热元件 |
进口电阻丝
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电阻丝/硅碳棒
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硅钼棒、电阻丝
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硅钼棒
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***大装机功率 |
4.5KW
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3kw/8kw
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10kw
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12kw
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CVD-□□□ 选件功能 |
/□
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/□
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V
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真空系列:单级机械泵+扩散泵机组
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Q
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气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计
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备注:以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件;其他特殊工艺要求的订货时请说明。
价格根据工艺要求不同价格不同。
具体详细参数请参照合肥日新高温技术有限公司企业门户
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加工定制: | 是 |
品牌: | 日新高温 |
型号: | CVD(D)-06/30/1 |
功率: | 12 kw |
最大电压: | 380 V |
额定温度: | 1650 ℃ |
主要用途: | 电子元器件、新型材料和粉体材料 |
产品认证: | ISO9001 |