主要特点:
真空气氛管式炉生产厂家合肥日新高温研制的管式炉,炉腔采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火,保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;CVD系列真空气氛管式炉热元件采用U型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝;本系列真空气氛管式炉温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。合肥日新高温是值得您信赖的管式炉生产厂家。
产品特点: CVD系列真空气氛管式炉专门设计用于高温材料沉积之用。 硅钼棒加热、刚玉炉管炉膛, 可预抽真空,便于通入参加反应的气体, CVD系列真空气氛管式炉进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备。
技术指标:
设备型号 |
CVD(D)-06/60/3
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CVD(Z)-06/30/1
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CVD(G)-07/50/2
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CVD(G)-09/50/1
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*高温度 |
1050℃
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1300℃
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1650℃/1000℃
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1650℃
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使用温度 |
RT—1000℃
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850-1300℃
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1000-1600℃
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1000-1600℃
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控制精度 |
±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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温区个数 |
3个
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1个
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2个
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1个
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加热区长度 |
600mm
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300mm
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500mm(300mm/200mm)
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500mm
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炉管尺寸 |
ф60(外径)×1400(mm)
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ф60(外径)×1000(mm)
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ф70(外径)×1450(mm)
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ф90(外径)×1450(mm)
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炉管材料 |
石英管
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刚玉管
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刚玉管
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刚玉管
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发热元件 |
进口电阻丝
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电阻丝/硅碳棒
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硅钼棒、电阻丝
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硅钼棒
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*大装机功率 |
4.5KW
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3kw/8kw
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10kw
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12kw
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CVD-□□□ 选件功能 |
/□
|
/□
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V
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真空系列:单级机械泵+扩散泵机组
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Q
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气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计
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具体工艺参数请登陆合肥日新高温技术有限公司企业门户
具体工艺要求请来电垂询: 65583720
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加工定制: | 是 |
品牌: | 日新高温 |
型号: | CVD系列 |
功率: | 订制 kw |
*大电压: | 380 V |
额定温度: | 1650 ℃ |
主要用途: | 高、中、低CVD工艺的研制 |
产品认证: | ISO |