应用领域: CVD系列真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理.
产品特点: CVD系列真空气氛管式炉专门设计用于高温材料沉积之用。 硅钼棒加热、刚玉炉管炉膛, 可预抽真空,便于通入参加反应的气体, CVD系列真空气氛管式炉进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备。
技术指标:
设备型号 |
CVD(D)-06/60/3
|
CVD(Z)-06/30/1
|
CVD(G)-07/50/2
|
CVD(G)-09/50/1
|
|
***高温度 |
1050℃
|
1300℃
|
1650℃/1000℃
|
1650℃
|
|
使用温度 |
RT—1000℃
|
850-1300℃
|
1000-1600℃
|
1000-1600℃
|
|
控制精度 |
±1.5℃
|
±1.5℃
|
±1.5℃
|
±1.5℃
|
|
温区个数 |
3个
|
1个
|
2个
|
1个
|
|
加热区长度 |
600mm
|
300mm
|
500mm(300mm/200mm)
|
500mm
|
|
炉管尺寸 |
ф60(外径)×1400(mm)
|
ф60(外径)×1000(mm)
|
ф70(外径)×1450(mm)
|
ф90(外径)×1450(mm)
|
|
炉管材料 |
石英管
|
刚玉管
|
刚玉管
|
刚玉管
|
|
发热元件 |
进口电阻丝
|
电阻丝/硅碳棒
|
硅钼棒、电阻丝
|
硅钼棒
|
|
***大装机功率 |
4.5KW
|
3kw/8kw
|
10kw
|
12kw
|
|
CVD-□□□ 选件功能 |
/□
|
/□
|
|
||
V
|
|
真空系列:单级机械泵+扩散泵机组
|
|||
|
Q
|
气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计
|
具体工艺参数请登陆合肥日新高温技术有限公司企业门户
您可能还对下列产品感兴趣:
高温炉 管式炉 箱式炉 井式炉 电阻炉 碳管炉 热风循环炉 预氧化炉 热亚胺化炉 真空炉 气氛炉 推板炉 网带炉 隧道炉
加工定制: | 是 |
品牌: | 日新高温 |
型号: | CVD系列 |
功率: | 2-35 kw |
最大电压: | 380 V |
额定温度: | 1000-1600 ℃ |
主要用途: | 高、中、低温CVD工艺 |
产品认证: | ISO |