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四氯硅烷分析用氦离子色谱仪
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上海
上海华爱色谱分析技术有限公司
13年 | 指数:280 | 工商已认证
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四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目。

 

硅(SiHCl3)含量(体积分数)/l0-6                                                                   ≤ 400 25        
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(体积分数)/l0-6                                                                   ≤ 400 25
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(体积分数)/l0-6                                                         ≤ 200 50
金属元素及其他元素含量 (硼+铝)(B+Al)含量/(μg/kg)                          ≤ —— 0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(μg/kg)                      ≤ ——       0.3
镓(Ga)含量/(μg/kg)                            ≤ —— 0.5
锑(Sb)含量/(μg/kg)                               ≤ —— 0.5
铟(In)含量/(μg/kg)                              ≤ —— 0.5
钙(Ca)含量/(μg/kg)                               ≤ 1 0.5
铬(Cr)含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
铁(Fe)含量/(μg/kg)                               ≤ 1 0.5
钾(K)含量/(μg/kg)                                ≤ 1 0.5
钠(Na)含量/(μg/kg)                               ≤ 1 0.5
镍(Ni)含量/(μg/kg)                               ≤ 1 0.5
钼(Mo)含量/(μg/kg)                               ≤ 1 0.5
锰(Mn) 含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
铜(Cu)含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
镉(Cd) 含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
钴(Co)含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
锌(Zn)含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
钒(V)含量/(μg/kg)                                ≤ 1 0.5

 

品牌:华爱色谱
加工定制:
型号:GC-9560-PDD
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