万级洁净厂房对新风机组的选择
洁净厂房分为三种净化级别,分别为万级、千级、百级,万级区主要为镀膜机室,千级区有丝印车间、模组/贴膜车间、千级高架区、千级未高架区,百级有镀膜车间、丝网制作房。万级洁净厂房对新风机组的选择
- MAU+FFU+DC的净化空调送风:新风机组MAU将新风处理到洁净室热湿比线与相对湿度92%线得交点以下,不仅将本身的湿负荷去掉,还负担洁净室内产生的湿负荷,而MAJ热处理不足部分的干冷负荷将由设在洁净室下夹层或吊顶上的干盘管来补充,由于干盘管设在FFU循环空气通过的吊顶上火夹道内,因此,干盘管所弥补的干冷负荷被循环空气带到洁净室内。此方案洁净室的相对湿度由MAU来保证,洁净室的温度由DC来保证,洁净室的洁净度由FFU来保证。
- AHU+FFU的净化空调送风:净化空调系统的热、湿负荷全部由设在空调机房内的空调机组AHU来负担。AHU的送风量室消除本系统余热、余湿的空调送风量,它应能确保洁净室内的温度和相对湿度恒定。而该洁净室的洁净度由设在洁净室吊顶上的FFU来保证。此方案应给注意FFU运行过程中所产生的热量也应由AHU来承担。
DC为干表冷盘管,在洁净室的回风夹墙中设置干冷盘管,对洁净室进行等湿将温,所以通过干盘管的冷冻水温度稍低于洁净室的露点温度,保证洁净室空气通过干盘管时不结露。FFU为风机过滤器集中,在洁净室的技术夹层布置FFU将送进来的空气通过FFU 中的*效过滤器送到洁净室内。AHU为净化空调机组,全部的净化空调送风均在净化空调机组内进行净化和热、湿处理,然后送至洁净室,洁净室的回风经回风日、回风管在接回到空调机房的净化空调机组,与新风混合后重复就那些净化和热、湿处理。