半导体洁净车间设计装修
半导体生产制造按照其制造技术可以分为:集成电路器件、分立器件、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、储存器等大类,如若细分还会有*多的分类方式。半导体器件的生产对生产环境要求*严,其涉及数百个制造工序,由于其生产技术的特殊性,为了产品的质量及使用寿命,对生产场所的环境,如温度、湿度,压力、通排风量、洁净度等都有严*要求。
半导体集成电路芯片生产厂房在工业建筑中属洁净建筑,相对其它工业建筑它的内部装修设计难度*大。像芯片生产工序厂房整个洁净生产区洁净等级均按100级设计,个别10级区域只需要用设备手段解决,不用*门设置这个洁净级别的洁净室。其他工序生产环境要求随生产工艺而定,洁净度的要求也并不是越*越*,洁净度*高意味着FFU覆盖率会成倍的增加。
一般在达到百级的半导体洁净室平面装修方案中,设计师依然会和千级、万级、十万级等洁净标准一样依据人流和物流净化流向来做精确的平面布局和配套系统设计:工作人员的净化路线为:入口→换鞋→更换外出服→洗浴→清洁走廊→二次洗浴→换洁净服→风淋室→洁净生产区。物品的净化路线为:入口→原料库→粗洁净→传递窗→精洁净→传递窗→洁净生产区→传递窗→包装→成品库。
半导体洁净车间设计装修,按照两种净化路线,分别依工艺布局洁净区与辅助用房。其他空气净化机房、超纯水处理站可以安排在同一层,使洁净空气、纯净水通过技术管道夹层送到洁净生产区。消防控制室、消防水泵房、自备发电机房、配电室、防排烟机房、生活用房、值班室、卫生间等都需依据“建筑设计防火规范”和“洁净厂房设计规范”的要求设置布局。