瑞柯微硅片全自动四探针测试仪FT-3110A

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浙江宁波宁波市

宁波瑞柯微智能科技有限公司

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产品参数

硅片全自动四探针测试仪
功能描述：
四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；
参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；
可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择，
可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件.
报表输出数据统计分析.
硅片全自动四探针测试仪
适用范围
晶圆、非晶硅/微晶硅，导电膜，氮化镓，碳化硅电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；
交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；
半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
硅片全自动四探针测试仪
参数资料：

规格型号	FT-3110A	FT-3110B（可扩展）
1.电阻	10^-5～2×10^5Ω	10^-6～2×10^5Ω
2.方块电阻	10^-5～2×10^5Ω/□	10^-6～2×10^5Ω/□
3.电阻率	10^-6～2×10^6Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm
4.测试电流	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA， 10mA，100mA	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.电流精度	±0.1%
6.电阻精度	≤0.3%
7.PC软件操作	PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、2D、3D图谱、压力值、报表生成等.
8.压力范围（选购）：	探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调
9.探针	针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3% 圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制
10.晶片尺寸（选购）	晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）
11.分析模式	单点、5点、9点、49点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试
12.重复性	测量重复性：重复性≤3%
13.防护功能	具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
14.电源	输入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<100W

品牌：	瑞柯微
型号：	FT-3110A
加工定制：	是
类型：	数字式
测量范围：	0.01 MΩ
电源：	220
测试电压：	5 V
精度：	0.01