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瑞柯微两探针电阻率测试仪FT-300TZ
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浙江宁波宁波市
宁波瑞柯微智能科技有限公司
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图文详情
产品参数
FT-300TZ
两探针电阻率测试仪
一、功能介绍:
适用于半导体材料
企业
、科研、高等院校
及
实验室
分析
半导体材料纵向电阻率
;
可测量横截面积均匀的圆形、方形或矩形硅单晶的电阻率,试样长度与截面尺寸之比应不小于
3:1
;
配置测量平台
,正反向电流测量模式;
液晶显示,并带有温度补偿功能,电阻率单位自动选择,
可选购
PC
软件实时数据和报表管理;提供中文或英文两种语言操作界面选择
.
二
.
参照标准:
FT-300TZ
两探针电阻率测试仪
GB/T 1551-2009
硅单晶电阻率测定方法
-
方法
2
直流两探针法
;
SEMI MF 397-1106<<
硅棒电阻率测定两探针法
>>
三、参数
资料
1.
电阻率:
10
^
-
7
~
2
×
10
^
7
Ω
-cm
2.
电
阻:
10
^
-
7
~
2
×
10
^
7
Ω
3.
电导率:
5
×
10
^
-
7
~
10
^
7s/cm
4.
分辨率:
0.1
μΩ
测量误差
±
(
0.
05
%
读数
±
5
字)
5.
测量电压量程:
2mV
2
0
mV
2
00
mV 2V
测量精度
±
(
0.
1
%
读数)
6.
分辨率:
0.1uV 1uV 10uV 100uV
7.
电流输出:直流电流
0
~
1000mA
连续可调,
量程:
1μA
,
10μA
,
100µA
,
1mA
,
10mA
,
10
0
0mA,
误差:
±0.
2
%
读数
±2
字
8.
显示方式:液晶显示:电阻值、电阻率、电导率值、温度、单位自动换算、横截面、高度、电流、电压等
.
9.
温度要求:
23
℃±
1
℃
10.
电源:
220
±
10% 50HZ/60HZ
11.
测量平台参数如下:
FT-300TZ
两探针电阻率测试仪
1
)
.
可测硅芯、检验棒尺寸:直径
4~2
2
㎜
(其他规格可定制)
2).
探针头探针与试样接触位置重复,无横向移动。
3).
两探针测试探针。探头间距
1.59mm
(其他规格可定制);
探针机械游率:
±0.3%。
4).
探针直径
0.8㎜
;
探针
压力总
6-12
N,探针材料:钨
针
,
5
)
.
探针间及探针与其他部分之间的绝缘电阻大于
10
9
欧
12.
标配外选购项
:
a.pc
软件
1
套;
b.
标准电阻
1
件;
c.
电脑和打印机
品牌:
瑞柯微
型号:
FT-300TZ
加工定制:
是
类型:
数字式
测量范围:
0.1 MΩ
电源:
220V
测试电压:
2 V
精度:
0.0001
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