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氩气纯化设备 氩气净化机 氩气净化装置
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江苏苏州吴中区
苏州穆尔气体设备有限公司
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图文详情
产品参数
产品简介
:
处理气量:(1-200
)
Nm3/h
压力:
≤1.0Mpa
氩气纯度:≥99.999%
露点:≤-70℃
含氧量:≤1.5ppm
含氢量:≤0.5ppm
含氮量:≤4ppm
ΣCH≤1ppm
广泛应用于:
熔硅单晶炉配套使用,激光器、溅射、半导体生产,气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门。
高纯氩气纯化设备
原料气可以是液氩,瓶装氩气等,
针对原料氩气的成分不同,可定制多种净化方案。提纯过程有催化脱氧、冷却冷凝
、
吸附脱水、深度净化炉等工艺,保证客户的不同需求。
技术特点
采用净化炉脱除杂质气体,效果可达产品气纯度99.999%
。
采用优质分子筛,产品氧气含湿量≤-70
℃露点。
采用高效烧结过滤器,除尘后分子粒度≤0.1
μm
。
纯化工作气体压力范围0.2-5.0MPa
,并能适用于压力波动气体。
原料气采用先进工作流程,温度控制安全可靠。
安装方便,结构紧凑,维修简单。
品牌:
穆尔气体
型号:
MGYa
加工定制:
是
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