产品应用:该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等优异性能,微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。
产品特点:
1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高;对称的微波发生装置,使产生的等离子环境更均匀。
2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。