工作原理

涡旋式真空泵是一种新型干式真空泵，它是由涡旋式压缩机演化而来的。其特点:间隙小、泄露小，具有较高的压缩比，在较宽的工作压力范围内有稳定的抽速;工作压力范围宽，由于压缩腔容积的变化是连续的因而驱动扭矩和功率变化小;动静涡旋形成的工作腔由于是对称的，因而泵的结构简单、零部件少，故工作平稳、振动小、噪音低、工 作可靠性高涡旋型线从等界面优化为变截面，使抽除气体的能力大大增强,能在大气压下启动，可直排大气独立工作;对被抽容器无污染。

无油涡旋真空泵结构
结构紧凑，运输方便，真空低，静音。免维护，无污染，静音

应用
分析测试仪器，能谱仪，扫描电镜真空镀膜(PVD、CVD、LPD等)电子東焊接、激光焊接真空炉、单晶炉、烘箱，手套箱、排气台预处理室样品传输抽真空，He质谱检漏，稀有特殊气体回收在循环，空间环境模拟。