激光干涉仪是实现大量程纳米测量的重要方法，由于激光的高方向性、高单色性和高相干性特点，使得激光干涉仪具有普通光源所无法替代的优势。随着精密测量的性能需求愈来愈高，具有测量精度高、测量范围大及对待测振动表面无干扰等特点的激光干涉测量技术已广泛应用于精密测量和计量领域。
 
单频激光干涉仪是干涉位移精密测量的重要方法，具有大量程、纳米级分辨率、波长溯源等典型优点，但因为单频激光干涉仪是直流测量系统，必然具有直流光平和电平零点漂移的弊端。针对这种状况，中图仪器研发生产出单频激光干涉仪 ——SJ6000激光干涉仪。
 
SJ6000激光干涉仪作为单频激光干涉仪，是在一般单频激光干涉仪基础上发展的一种外差式干涉仪，也叫双频激光干涉仪。是用频率为几兆赫的交流信号作为干涉信号，这样当可动反射镜移动的时候，干涉信号根据多普勒效应原理，原有的交流信号频率增加或减少了A/，结果依然是一个交流信号。这样，即使光强大幅度衰减，G仍可得到合适的电信号。同时不仅能进行动态高速测量，还能组合相应的功能模块元件测量振动幅度、角度、线速度、平面度等，可以弃普通车间进行应用，环境适应能力强。
     
产品参数
稳频方式：双频激光热稳频
稳频精度：0.05ppm
线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃
线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）
角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
测量分辨力：1nm
动态采集频率：50KHz
预热时间：≤6分钟
工作温度范围：（0-40）℃
环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%
主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

产品功能特点
1）功能广

• 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
• 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
• 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
• 可实现对机床回转轴的测量与校准；
• 可实现龙门机床双轴同步测量；
• 支持手动或自动进行环境补偿。

2）精度高

• 采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；
• 干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠；
• 采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出。

3）软件强

• 简洁化的记录管理；
• 向导式的操作流程；
• 丰富的应用功能模块；
• 友好的人机界面；
• 支持中文、英文和俄文界面；
• 支持企业专属模板定制。

配件与证书
中图仪器坚持以技术创新为发展基础，现有员工200余人，集光、机、电、信息技术于一体的*技术团队，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、机械制造、半导体加工、3C电子等行业，在精密测量、计量检测领域的技术进步做出了应有的贡献。未来，中图仪器仍将继续专注于未来！