控制器型号 | 流量计型号 | 流量范围(氮气等效额定值) | *大工作压力 | PED 模块 H 类别 |
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SLA5850 | SLA5860 | 0.003 slpm - 50 slpm | 1500 psi / 103 bar (特殊可选 4500 psi / 310 bar@*大流量 10 lpm) |
SEP |
SLA5851 | SLA5861 | 15 slpm - 150 slpm (氢气可达 600 lpm,精度降低) |
1500 psi / 103 bar | SEP |
SLA5853 | SLA5863 | 100 slpm - 2500 slpm | 1000 psi / 70 bar | 所有 150 lb 法兰为类别 1,其他连接为类别 2 |
参数 | SLA5850/60 | SLA5851/61 | SLA5853/63 |
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流量精度(17025 认证设备) | ±0.6% of S.P.(20-100% F.S.) ±0.12% F.S.(<20% F.S.) |
±0.6% of F.S. | |
流量精度(含线性度和校准系统不确定度) | ±0.9% of S.P.(20-100% F.S.) ±0.18% F.S.(<20% F.S.) |
±1.0% of F.S. | |
控制范围(氮气等效) | 100:1(F.S. 1-50 slpm) 50:1(其他 F.S.) |
100:1 | |
重复性与再现性 | 0.20% S.P. | ||
响应时间(0-100% 阶跃命令,±2% F.S. 稳定时间) | <1 秒 | <3 秒 | |
零点稳定性 | <+0.2% F.S./ 年 | ||
温度系数 | 零点:<0.05% F.S./°C 量程:<0.1% S.P./°C |
||
压力系数 | ±0.03% /psi(0-200 psi 氮气) | ||
姿态灵敏度 | 重新调零后偏离指定精度 <0.2% F.S. |
接头类型 | 尺寸 B(长度) |
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9/16"-18 UNF | 76.4/3.01 (SLA5850) / 93.5/3.68 (SLA5851) |
1/4" 卡套接头 | 127.7/5.03 (SLA5850) / 144.8/5.7 (SLA5851) |
卫生接头(1/2") | 140.5/5.53 (SLA5850) / 157.5/6.2 (SLA5851) |
接头类型 | 尺寸 B(长度) |
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9/16"-18 UNF | 199/7.8 (SLA5853) / 155/6.1 (SLA5863) |
3/8" 卡套接头 | 253/10 (SLA5853) / 209/8.2 (SLA5863) |
ANSI 法兰(1/2" 150#) | 299/11.8 (SLA5853) / 256/10.1 (SLA5863) |
加工定制: | 否 |
品牌: | BROOKS |
型号: | SLA5850/SLA5851/SLA5853 |
响应速度: | / |
测量范围: | / |
外形尺寸: | / mm |