标称频率 [GHz] | 样品*小尺寸 [mm] | 样品厚度 [mm] |
---|---|---|
1.1 | 120×120 | 6.0 |
1.9 | 70×70 | 4.0 |
3.2 | 50×50 | 3.0 |
5+6 | 30×30 | 2.0 |
9+10 | 22×22 | 1.0 |
13+16 | 15×15 | 0.6 |
18+20 | 10×10 | 0.5 |
参数类型 | 具体规格 |
---|---|
频率范围 | 10-130 GHz(支持定制频段:10-26.5 GHz/10-43 GHz/10-50 GHz 等) |
介电常数(Dk) | 测量范围 1-15,精度 ±0.2% |
损耗角正切(Df) | 可测下限 5×10⁻⁴,测量精度 2% |
样品规格 | 厚度:1 μm-3 mm;直径:50-150 mm(推荐测量区间 80-100 mm) |
测量耗时 | 单次测量>1 分钟 |
温度条件 | 标准室温环境,可选 0-80℃温控模块 |
特殊功能 | 支持板面各向异性材料测量,全自动化软件控制 |
指标 | 传统 VNA 方案 | 2D SPDR 扫描仪 |
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设备体积 | 机柜式(≥0.5m³) | 便携式(≤10kg) |
单次测量耗时 | 5-10 分钟 | <1 分钟 |
空间分辨率 | 20-30mm | 5-8mm(算法增强后) |
成本投入 | >10 万美元 | <3 万美元 |
现场适应性 | 实验室固定场景 | 支持产线 / 野外移动测量 |
产品型号 | 技术特点 | 核心应用 |
---|---|---|
分裂柱介电谐振器(SPDR) | 10 GHz 等多频段可选,适配层状介电材料复介电常数测量 | LTCC 基板、铁电薄膜电性能表征 |
单柱介电谐振器(SiPDR) | 2-30 GHz 频段,非接触式测量半导体晶圆电导率 | 电阻薄膜表面阻抗、金属薄膜电导率测试 |
TE₀₁δ 模式介电谐振器 | 1-10 GHz 典型频段,支持介电常数热系数测量 | 低损耗介电陶瓷材料全温域特性分析 |
石墨烯测量专用谐振器 | 13 GHz 定制频段,10 mm×10 mm 基板适配 | 二维材料表面电导率高精度测量 |
法布里 - 珀罗开放谐振器(FPOR) | 10-130 GHz 宽频范围,支持各向异性材料测量 | 毫米波介质片介电常数与损耗角正切表征 |
品牌: | 波兰QWED |
型号: | SPDR/SiPDR/Q-SCR/FPOR/2D SPDR |
频率容差: | 精度约为 ±2% |
调整频差: | 2 GHz 至 30 GHz |
工作温度: | -270°C 至 110°C |