气体补集泵是一种将气体分子吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目以达到抽气目的的真空泵，有以下几种类型：
(1)吸附泵，主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵；
(2)吸气剂泵，这是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵，吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金；
(3)吸气剂离子泵，它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的；
(4)低温泵，利用低温表面来冷凝捕集气体的真空泵，如冷凝泵和小型制冷机低温泵。
气体捕集真空泵低温泵水汽捕集泵真空深冷机