此外，PLS激光清洗多边形扫描镜由于存在轴跳动和面到面的误差，编码器没有办法提供精确的镜面位置，因此传统的振镜扫描仪用的编码器是不适合用在多边形扫描镜中的。多边形扫描镜是用一种独特的SOS（Start-Of-Scan）检测系统，利用扫描脉冲检测到光束的位置，即使面和面之间有误差也没关系，每次工作扫描都会和其他扫描精确排列。
关于多边形扫描镜基本光路更详细的介绍可以参见我们另一篇文章：PLS多边形扫描控制器


PLS多边形扫描镜与CAMBRIDGE振镜扫描仪精度的对比
Cambridge Technology 是一家成立超过五十年的设计、开发和制造先进的激光光束扫描解决方案的公司，可以提供品质良好的振镜扫描仪。接下来下将会对Cambridge的扫描振镜和PLS的多边形扫描镜做一个简单的对比。
Cambridge 的XY振镜组模块，*大扫描角度为40°时，精度为0.5%。当扫描范围为250毫米时，误差为1250微米。以慢速运行时，这是*好的情况，如果以*大速度运行，均匀性会差数百倍。
PLS多边形扫描镜在稳定性方面非常好，速度稳定性可以高达0.01%。比如Gecko-5-HP1，速度稳定性为0.03%，在250毫米范围内扫描时，误差只有75微米。当速度稳定性为0.01时，误差仅有25微米。
如上，与振镜扫描仪相比，多边形扫描镜是高速激光清洗的*佳选择。