AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆,可以安全高效搬送薄片晶圆,非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。
奥林巴斯 晶圆搬送机 AL120概述:
★适应范围广、搭配灵活
●对应多种尺寸组合
我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(对应小于150 mm的晶圆)的3种型号。除此以外,您还可以根据检查模式,选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。
●薄片检查
对应薄片制造厂家的需求,AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的J*薄晶圆。
★高度实用性
●进一步优化的宏观检查
▪宏观检查手臂可以360゜旋转,更为容易发现伤痕和微尘。
▪利用360゜旋转功能,完全可以目视检查整个晶圆(包括边缘)。此外,在表面宏观检查中,使用操纵杆可随意将晶圆z*大倾斜30゜进行观察。
●操作便捷
▪为了满足各种常规检查的要求,AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。
▪晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT,便于操作者再次确认。
▪AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口/平面,可以减少晶圆和设备之间的接触,提高晶圆的清洁度。
★高度可靠性
●优先考虑晶圆和操作者的安全
▪为了能够安全的安装晶圆,采用了在装置正面放置片盒的设计。
▪在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测,同时,在环境保护方面遵守了RoHS指令。
●坚固、耐用的显微镜底座
AL120搭载奥林巴斯MX专 业晶圆检查显微镜系列,通过各种观测方法,包括:明视场、暗视场、微分干涉(DIC)、近IR(近红外线)和DUV(深紫外线),实现了ZY的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定,可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制,AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。
●人机工程学设计的载物台
▪手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率,标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
▪可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台,进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。
奥林巴斯 晶圆搬送机 AL120技术规格:
晶圆搬送机 AL120 规格 |
|
200 mm专用型 |
200 mm/150 mm 兼用型 |
150 mm型 |
AL120-
LMB8-
90 |
AL120-
LMB86-
180 |
AL120-
L86-
180 |
AL120-
LMB86 |
AL120-
L86 |
AL120-
LMB6-
150 |
AL120-
L6-
150 |
晶圆尺寸(SEMI规格) |
200mm |
200mm / 150mm |
150mm /
125mm /
100mm |
晶圆z*小厚度 |
90µm |
180µm |
400µm |
150µm |
片盒类型* |
SEMI规格:25(26)个slot |
片盒数 |
1 |
检查模式 |
全部检查/抽样检查 |
搬运顺序 |
微观检查(显微镜检查) |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
表面宏观检查 |
○ |
○ |
|
○ |
|
○ |
|
背面宏观检查 |
○ |
○ |
|
○ |
|
○ |
|
二次背面宏观检查 |
○ |
○ |
|
○ |
|
○ |
|
晶圆定位(每 90º) |
非接触(定位平边/V型槽) |
非接触(定位平边) |
适配显微镜型号 |
奥林巴斯半导体检查显微镜 MX61 |
尺寸(mm) |
主机部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H),配备显微镜时:1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) |
主机部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H),配备显微镜时:980 (W) × 620 (D) × 400 (H) |
重量(kg)(仅主机部分) |
44 |
44 |
41 |
44 |
41 |
40 |
37 |
使用环境(电源/真空) |
AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上 |
* z*多可登记10种片盒