荷兰ISTEQ公司EUV光源TEUS系列

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产品参数

荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

产品介绍：

ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体（LPP）的EUV光源。该光源具有极高的亮度和极高的稳定性。它采用可自刷新的材料，无需中断和更换燃料盒，因此持续运行时间极长。
ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而，对于掩模检查的应用，公司开发了一种高频锡旋转靶，已在全球范围内获得专利。

产品特点：
·高亮度以及出色的稳定性
·*少的碎片
·极高的正常运行时间
·高占空比和交钥匙操作
·用户友好的自动化协议，确保系统平稳运行，没有中断的风险。
产品应用：
·掩模和表面检查：
·图案掩模检测 (PMI)
·区域掩模检测 (AIMS)
·掩模空白检测 (MBI)
·EUV 扫描仪检
·材料科学
·晶圆检查

TEUS 系列激光等离子体光源

型号参数：

型号	TEUS S-100	TEUS S-200	TEUS S-400
激光平均功率W	100	200	400
脉冲重频 kHz	25或70	50或135（可调）	100或200（可调）
EUV功率立体角 sr	0.05
等离子体尺寸 μm	≤ 60或 ≤ 40		≤ 60或 ≤ 45
带内辐射转换效率(13.5 nm±1%)	2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr
碎片处理系统后角内光通量mW	11 或 9	22 或 18	44 或 40
碎片处理系统后光谱亮度W/mm2·sr	≥ 80或 ≥ 140	≥ 160或 ≥ 280	≥ 310或 ≥ 500
等离子体稳定性	3% rms
在24/7运行状态下，在不使用特殊膜过滤器情况下，收集器寿命下降10%	不少于8个月	不少于4个月	不少于2个月
在24/7运行状态下，使用特殊膜过滤器情况下，收集器寿命下降10%	不少于18个月	不少于9个月	不少于4个月
维护时间间隔	4 个月 - 1 天	3个月 - 2天	2个月 - 1天
24/7 运行模式下的正常运行时间***	4个月	3个月	1个月
电源	5 kW	8.5 kW	10.5 kW
尺寸（长×宽×高）mm	1500×1000×1200
重量，包括激光组件 kg	770
房间洁净度等级	ISO 7
水流量	10升/分钟	15升/分钟	25升/分钟

型号：	TEUS系列
加工定制：	是

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