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铭恒牌等离子清洗机PDC-MG
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湖北武汉
武汉月忆神湖科技有限公司
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  • 产品参数

一、PDC-MG等离子清洗机产品概述:

铭恒等离子清洗机PDC-MG配备有各种数字式仪表,能更加精确的记录各个实验参数。该款设备操作更为简便,只需要-一个开关键即可对整个清洗过程进行控制。该型号等离子清洗机具备更为高的射频功率,使得等离子清洗的应用面更为宽广,除普通的清洗功能外,还具备表面改性、键合、浅刻蚀等功能。

通过国家辐射环境管理监测站检验,符合国家相关产品标准要求。

 

二、PDC-MG等离子清洗机技术参数:

1、型号规格:PDC-MG;

2、整机规格:500×300×300(长×宽×高)mm;

3、整机重量:30 Kg;

4、反应舱规格:Φ165×L210 mm (耐热玻璃);

5、反应舱有效容积:4.5 L;

6、输入电源:220V/50Hz;

7、整机输入功率:400 W;

8、射频功率:0~150W(连续可调);

9、射频频率:13.56 MHz;

10、极限真空度:60 Pa;

11、数字式定时器范围:0-99.99 min;

12、数字式电流表和数字式电压表:方便判断工作中的功率大小;

13、二路浮子流量计: 0.2~1.5 L/min 量程,方便二种气体按比例混合;

14、玻璃观察窗:观察清洗舱内辉光的状态;

15、常用工作气体:空气、氩气、氨气或混合气体等;

 

 

品牌:铭恒牌
加工定制:
型号:PDC-MG
重量:30 kg
适用范围:6英寸基片
用途:亲水改性、PDMS键合
外形尺寸:500×300×300(长×宽×高) mm
材质:pp
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