P12 系列压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3 维并联式平移扫描台,台体中心圆形通孔孔径可选 25mm或 35mm,满足显微等应用。压电扫描台可以实现单轴300μm 的位移行程,一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选,以满足不同应用的需求。
特点:
• 1~3维 • *大位移300μm • *大承载0.8kg
• 台体中心通孔 • 闭环重复定位精度高
典型应用:
• 扫描干涉 • 共焦显微 • 晶圆定位
• 表面测量 • 图像处理与稳定 • 光学捕获
1~3 维扫描台:
P12 系列压电纳米定位台为 1~3 维直线压电扫描台,包括 X、Z、XY、XZ、XYZ 等。
多种规格型号,通孔直径 25mm 或 35mm 可选。