P22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转镜/快反镜,柔性铰链导向设计具有零摩擦及静态阻力、优异的导向精度。提供纳弧度的分辨率和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达8mrad, 具有极快的响应速度(毫秒至微秒级),非常适于动态操作(例如跟踪、扫描、漂移及振动消除)及光学和样品的静态定位。
结构原理
平台由一个铰链支撑,并且由一个线性压电促动器推动。铰链确定了轴心点,兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高等。如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大,推荐使用差分驱动压电偏转镜。
小体积、高动态、开环闭环可选
压电驱动俯仰/偏转台(快反镜/倾斜镜,光束偏转,相移器)提供比音圈电机类产品更高的加速度及带宽,θx轴偏转范围为4mrad,偏转分辨率达0.1μrad,开环闭环可选,闭环传感器包括应变传感器及电容传感器,可获得更高的定位精度。
超小体积设计,具有非常快的响应速度,可带载Ø15mm的镜片实现0.8ms的阶跃时间。