P77系列压电扫描台为一维Z轴运动平台,压电平台中心为106mm大通光孔,压电陶瓷直驱机构,内置高性能压电陶瓷,可以实现Z轴20μm的位移行程,无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率,闭环版本定位精度可达纳米级,是光学移相器。
应用案例
芯明天P77压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特点广泛应用于现代干涉仪中,大大提高了干涉仪的测量精度。
大孔径、大承载、高谐振频率
P77系列压电扫描台采用优异的柔性铰链导向机构设计,利用有限元分析优化,刚度可达8N/μm,空载谐振频率300Hz。
闭环版本内置高精度传感器,对位移实时监测反馈,可实现纳米级的重复定位精度及线性度。
压电扫描台中心106mm的大通光孔,是光学移相器,该产品已广泛应用于激光平面干涉仪等设备。