P51系列是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大通孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
超薄的设计适用于显微应用
P51系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应用设计的,台体非常薄,厚度仅为20mm,非常易于集成到高精度显微镜中。
仿真分析
通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上*高的刚度,并减少角度偏差。铰链部分允许极高精度的运动,因为铰链机构无间隙、无摩擦。
超高导向精度、分辨率高、闭环传感精度高
P51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台,偏转行程为±1.1mrad,Z轴直线行程可达110μm。
P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构,采用有限元分析进行优化,具有超高的刚度以及导向精度。
可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈,确保其具有极佳的运动控制精度,直线运动分辨率可达到亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。