利用固体吸附剂对气体组份吸附的明显选择性和扩散性的差异，通过气源在接近常压下做周期性、在不同的吸附器中循环变化，其解吸（或再生）采用真空抽吸的方式来实现气体的分离过程。
设备特点
投资省，装置安装周期较深冷装置短，土建工作量小；
能耗较低，生产每方氧气的电耗≤0.5 kW；
自动化程度高，操作人员少；
装置启动快，开停机方便；
维护和保养费用低；
装置运行稳定性、可靠性高；
气动控制阀门全部进口，安全可靠，使用寿命长；
主要控制设备全部进口，可根据吸附塔内压力的变化而自动调节阀门开度以维持正常生产；
采用原装进口专用氧分子筛吸附剂，吸附性能好。
应用领域
一．钢铁行业
高炉、转炉和电弧炉的强化冶炼等
二．化学工业
改变产品分子结构，提高乙烯、丙烯、氯化物工艺的生产能力。
三．造纸工业
纸浆生产、漂白、化学品回收等。
四．金属生产和加工
五．提高炉温强化金属冶炼，金属焊接和切割等。
五．玻璃制造业
提高炉窑温度，减少氮化物排放满足环保法规等。
六．石油化工
石油提取和精制，增加油、气井产量和脱硫等。
七．其他使用领域
 固体垃圾焚烧用氧气助燃，燃烧温度高，有利于降低垃圾燃烧过程产生的烟气量及有害物质的含量。垃圾焚烧过程产生的热量可回收利用，用于供暖和发电。
 水泥生产使用富氧可增加炉的产量并延长使用寿命，同时有利于环境保护。
 医院呼吸用氧、家庭用氧等。
 臭氧生产的氧源、窑炉助燃、地下水维护、农业废物处理等。
工艺流程图
 

 
AF1过滤器SL消音器AB鼓风机MS吸附器
PV1氧气平衡器PV2氧气储罐OC氧压机VP真空泵
 
工艺流程原理
低压吸附真空解吸，即在穿透大气压（风压）的条件下，利用VPSA专用分子筛与干燥剂形成的混合床层选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，令氧在床层末端聚积并收集，在抽真空的条件下对吸附饱和状态的分子筛床层进行解吸，从而循环制得纯度较高的氧气（90～95%）。VPSA能耗较低，制氧设备越大其能耗越低。
 
技术指标
氧气产量：100～3000Nm3/h
氧气纯度：28～95%之间可调
出口压力：0.015～0.05MPa(可调)