氩气净化处理系统主要由氩气尘埃净化系统，氩气除氧净化及冷却处理系统、氩气干燥净化系统、调压自动切换控制系统等组成。
氩气净化器原理是采用贵金属- MO型吸附脱氧剂是贵金属-多元还原态活性体系吸附脱氧剂。其脱氧原理是脱氧剂的还原态物质直接与原料气中的氧气反应而脱氧。MO型吸附脱氧剂吸氧饱和后，可通氢气还原再生，恢复其脱氧功能。MO型吸附脱氧剂活性高，可常温下脱氧，升温效果更佳。再生温度低，较低的温度即可启动再生反应。性能稳定，可承受千余次的使用-再生过程，仍然有良好的脱氧性能。强度高，可承受大范围的工作压力。MO型吸附脱氧剂应用于氮气、一氧化碳、二氧化碳、乙烯及氩、氦等惰性气体直接脱氧净化。氩气净化器采用特殊结构，具有接触面积大、阻力小、净化效率高、热功率损耗小等优点。本装置可与区熔硅单晶炉配套使用，也可用干激光器、溅射、半导体生产，气相色谱仪、特殊灯泡、稀有金属加工、冶金行业的精炼提纯等需要用高纯氩气的生产技术领域。
二、氩气净化器技术指标:
1、型 号 ArC-120型
2、处理气流量 120（Nm3/h）
3、*大工作压力 0.6（Mpa）
4、反应器工作温度 100～150（℃）
5、催化剂激活温度 120（℃）
6、干燥器加热功率 24（Kw）
7、原料气体纯度 ≥99.99%
8、纯化后气体纯度 ≥99.999%
9、操作弹性≥±10% 120˜140（Nm3/h）
10、外形尺寸 约2750mm×2600mm×2650mm
11、原料氩杂质要求：
1）、原氩气纯度：Ar≥99.99%
2)、O2≤100PPm
3)、CO2 ≤10PPm
4)、N2≤10PPm
5)、H2 O≤0.2%
6)、原料气温度: 10-55 ℃
7）、处理气流量：≥120Nm3/h
8）、原料气**：-10℃
12、处理后氩气净化器纯度：
1）、处理后氩纯度：Ar≥99.999%
2)、O2≤2PPm
3)、CO2 ≤5PPm
4)、N2≤5PPm
5)、纯氩气**: -67℃ （ H2O≤4PPm ）
6)、H2≤1PPm
7）、处理后出口压力: ≤0.6Mpa
8）、含尘量≤3.5颗/升 （对于粒径≥0.5um尘埃）
9)、再生氢气耗量每次约1标准瓶（工作48小时后自动转换后再生）
三、氩气净化器工作原理:
工作流程：原料氩气经流量计、工作阀进入一级干燥净化器，此干燥净化器为复式双塔结构，双塔自动切换工作，这样保证了连续工作脱水，它是预处理作用，保证脱氧和深度脱水打下基础。处理在常温下氩气经换热器进行能量转换，然后再进入净化除氧器器；
而本系统除氧器采用复式双塔，一塔在5℃～150℃下，氩气中的氧气与金属吸气剂起化学吸附作用除去O2、CO2、CO、H2、CH4 后 ，再经水冷却器，冷冻干燥机进行汽水分离，把**含水量降低到-10℃以下，主要也是保证环境温度变化后，而本系统指标还是稳定工作。而另一塔除氧器开始活化再生，再生时需要加适量的氢气，把吸附的氧反应生成水，当氧小到一定指标后，即可以停止加氢反应，然后在用普氩气对吹扫和深度还原201脱氧催化剂，当残余含氢量小于1ppm后，在经过一段时间还原，在冷却到环境温度后，即完成了本塔再生还原，在另一塔除氧器接近规定指标时，即可自动切换到本塔工作。经过脱氧和脱氢后的氩气在到二级干燥器进行深度脱水。这样的结构就保证了在除氧的过程中，就不会产生氩气二中次氢气的污染，而保证除氢小于 H2≤1PPm指标要求。
除氧催化剂的工作原理：锰型催化剂的“还原态”可以脱除含氢或非氢气体中的杂质氧，是一个氧化还原反应，只是生成少量的水份。催化剂脱氧时，对温度的适应范围相当大。可以用常温，也可以在环境温度或250℃以下。需要启动控温，脱氧效能相同。催化剂使用寿命一般为2-3年，可以反复再生还原使用。
二级干燥器脱水也采用复式双塔结构，即一塔工作，另一塔再生还原，这样保证了大气量连续性工作而达到设定指标。达到一定时间后即可自动切换。*后指标是O2≤2PPm、H2≤1PPm、**: -67℃ （ H2O≤4PPm ）的高纯氩气经出口阀就可以到用户工艺使用点使用了。本套系统可以连续自动切换工作制也适合间断性随时需要用气，以满足不同工艺要求。
再生还原气的回收在利用过程。所有气体提纯设备都需要用高纯气按一定比例的气量用来再生还原，如果价格低廉气体，就直接放空到大气中，对于昂贵的稀有气体而言就不是很经济合理。对此，本系统中采用了闭环回收系统，对再生还原用废氩气进行处理后回收在利用，减小经济浪费。
四、氩气净化器特点:
1、结构特征
高纯氩装置应用了特殊设计的气密性技术。整个装置具有良好的气密性及抗污染能力。加热装置采用内热式结构及新颖的保温材料。能耗低。散热小，无二次污染。整台设备结构紧凑，尤其适合于实验室。
2、使用环境
1）、温度：—20℃～40℃。
2）、相对温度：小于90%。
3）、大气压力：86kpa ～ 106kpa
4）、电源：380V 220V±10%；50HZ±2HZ
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