用途:
主要用于各大高校、硅材料实验室、及微电子专科对半导体6寸及以下硅片的高温扩散、氧化(湿氧)、退火、烧结合金工艺的教学和实验工作。
1.1、工作温度:400-1300℃
1.2、恒温区长度及精度: 300mm /±0.5℃(可选)
1.3、炉管数:一、二、三、四管(可选)
1.4、适应硅片尺寸: 6寸及向下兼容
1.5、送取片方式:自动或手动(可选)
品牌: | 晨立 |
加工定制: | 是 |
型号: | cl |
形式: | 电动 |
电源电压: | 380 V |
送料形式: | 1 |
脚长: | 1 mm |
加工量: | 1 |